中国でEUV試作機動作?

元ネタはロイターの記事のようだが、 EUV試作機が動作したらしいとのこと https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/spv/2512/24/news108.html ASMLはCO2レーザーを使用に対し、中国は固体レーザーをベースにするなど、単なるデッドコピーでもない模様。最大70万ドルでASMLのエンジニアが採用されているようで、2028〜30年に最先端ノードデバイスを中国でも作れるようになるのか注視したい